加工変換差およびSi リセス変動における開口率とパターン構造の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-1F-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_1754

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

加工変換差およびSi リセス変動における開口率とパターン構造の影響

*久保井信行, 辰巳哲也, 深沢正永, 木下隆, 小町潤, 安斎久浩

著者情報

キーワード: 14a-1F-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマエレクトロニクス賞受賞記念講演, エッチング, 加工変換差, シミュレーション

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2015 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top