高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― 回転YカットLiNbO<sub>3</sub>におけるカット角依存性 ―

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第76回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14a-2K-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2015.2.0_346

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 76

開催地: 名古屋国際会議場

開催日: 2015/09/13 - 2015/09/16

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― 回転YカットLiNbO₃におけるカット角依存性 ―

*垣尾省司, 保坂桂子

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キーワード: 14a-2K-9, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, リーキー弾性表面波, AlN薄膜

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