応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19p-S011-6
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

PLイメージングによる4H-SiC結晶欠陥の評価
*土田 秀一, 鎌田 功穂, 田沼 良平, 長野 正裕
著者情報
キーワード: 19p-S011-6, シンポジウム, 発光イメージングが切り拓く半導体結晶・デバイス評価の明るい未来, シリコンカーバイド, フォトルミネッセンス, 拡張欠陥
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