80～200eV域定偏角分光器用酸化物膜付加高回折効率回折格子の設計

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-H137-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1565

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

80～200eV域定偏角分光器用酸化物膜付加高回折効率回折格子の設計

*小池雅人, 長野哲也, 笹井浩行, 浮田龍一

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キーワード: 19p-H137-5, ビーム応用, X線技術, X線光学素子, 回折格子, 軟X線, 回折効率

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