波長4.0nm用軟Ⅹ線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-H137-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1571

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

波長4.0nm用軟Ⅹ線顕微鏡の斜入射照明光学系の開発

*江島丈雄, 羽多野忠, 近藤芳希, 小野祐一, ヂンタンフン, 東口武史

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キーワード: 19p-H137-11, ビーム応用, X線技術, X線顕微法, 水の窓, 反射多層膜, 軟X線顕微鏡

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