噴水型低エネルギー二次電子検出器による金属合金の観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-H137-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1587

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

噴水型低エネルギー二次電子検出器による金属合金の観察

*関口隆史, 木村隆, 岩井秀夫

著者情報

キーワード: 21p-H137-7, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子顕微鏡による構造解析・分析, 噴水検出器, 走査電子顕微鏡, 二次電子

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