円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（３）

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-H137-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1589

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

円環・円孔電極を用いた電界型Csコレクタの開発（３）

*川崎忠寛, 髙井康行, 小川雄紀, 石田高史, 児玉哲司, 富田正弘, 松谷貴臣, 生田孝

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キーワード: 21p-H137-9, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子顕微鏡装置・手法の開発, 収差補正, 電子顕微鏡, 色収差

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