Blunt W tip上へのAu被覆ナノピラミッドの形成

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-H137-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1591

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

Blunt W tip上へのAu被覆ナノピラミッドの形成

*浅井泰尊, 熊谷輝成, 村田英一, 大島忠平

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キーワード: 21p-H137-11, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子ビーム計測･診断, 微小電子源, 電界イオン顕微鏡

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