応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20p-H137-1
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

高出力インパルスマグネトロンスパッタリング法を用いた高強度・サイズ選別ナノクラスターイオン源の開発
*角山 寛規, 張 初航, 山本 宏晃, 戸名 正英, 塚本 恵三, 中嶋 敦
著者情報
キーワード: 20p-H137-1, ビーム応用, イオンビーム一般, イオンビーム応用装置, ナノクラスター, マグネトロンスパッタリング
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