ダウンフローエッチングにおける活性種輸送の考察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-W621-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1704

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ダウンフローエッチングにおける活性種輸送の考察

*石川健治, 関根誠, 林俊雄, 堀勝, 堀池靖浩

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キーワード: 19p-W621-1, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, Si・金属のエッチング, ケミカルドライエッチング, 過酸化ラジカル

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