ガラスの表面微細加工における金属添加物による影響の解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 19p-W621-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_1712

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ガラスの表面微細加工における金属添加物による影響の解析

*吉武尚輝, 石川健治, 関根誠, 竹田圭吾, 近藤博基, 堀勝

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キーワード: 19p-W621-9, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 絶縁膜のエッチング, エッチング, ガラス

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