応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 19a-S423-13
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ウェハ表面パーティクル検査装置校正用の粒子数基準ウェハの開発(Ⅲ)
*田島 奈穂子, 飯田 健次郎, 榎原 研正, クンプアン ソマワン, 原 史朗
著者情報
キーワード: 19a-S423-13, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, その他（省エネルギー技術など）, 粒子数, ウェハ表面パーティクル検査装置, 計測標準
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