応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 20p-S423-15
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ラマン分光法及びイメージング法による低温多結晶シリコン薄膜の結晶性分布評価
*横川 凌, 高橋 和也, 小森 克彦, 廣田 良浩, 澤本 直美, 小椋 厚志
著者情報
キーワード: 20p-S423-15, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, 低・高温ポリシリコン、ゲルマニウム及び関連材料, 低温多結晶シリコン, ラマン分光法
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