Agナノインクの印刷により形成したAg/n-GaNショットキー接触の2次元評価(2)

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21a-W541-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3115

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

Agナノインクの印刷により形成したAg/n-GaNショットキー接触の2次元評価(2)

*新郷正人, 伊藤尊史, 柏木行康, 重宗翼, 小泉淳, 児島貴徳, 斉藤大志, 松川公洋, 藤原康文, 塩島謙次

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キーワード: 21a-W541-4, 半導体, 化合物及びパワー電子デバイス・プロセス技術, 窒化物半導体各種デバイス，プロセス技術・評価, 界面顕微光応答法, Agナノインク, ショットキー接触

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