拡散・析出法によるh-BN薄膜の形成過程

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 22a-S421-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_3920

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

拡散・析出法によるh-BN薄膜の形成過程

*鈴木哲, 小川友以, Wang Shengnan, 山本秀樹

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キーワード: 22a-S421-3, ナノカーボン, 層状物質, 成長技術, 六方晶窒化ホウ素, SEM, オージェ電子分光

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