高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO<sub>3</sub>基板への適用 ―

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 20p-S322-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_406

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

高音速薄膜装荷によるリーキー弾性表面波の低損失化 ― LiTaO₃基板への適用 ―

*垣尾省司, 勝谷信介, 保坂桂子

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キーワード: 20p-S322-12, 応用物理学一般, 超音波, 圧電デバイス, リーキー弾性表面波, AlN薄膜, LiTaO3

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