ホログラフィックデュアル偏光フェムト秒レーザー加工システムを用いたレーザースイーパ

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第63回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 21p-P14-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.1.0_776

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

ホログラフィックデュアル偏光フェムト秒レーザー加工システムを用いたレーザースイーパ

*阿部哲也, 長谷川智士, 高橋秀知, 太田道春, 早崎芳夫

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キーワード: 21p-P14-7, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 微細加工, フェムト秒レーザー加工, レーザークリーニング

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