応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第63回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 21p-P15-12
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 63

開催地: 東京工業大学

開催日: 2016/03/19 - 2016/03/22

可視光OCTとFDTDシミュレーションによる半導体光デバイス微細加工における新規非破壊膜厚測定法
*西 剛史, 尾崎 信彦, 及川 陽一, 宮地 邦男, 大里 啓孝, 渡辺 英一郎, 池田 直樹, 杉本 喜正
著者情報
キーワード: 21p-P15-12, 光・フォトニクス, 光計測技術・機器, 屈折率・膜厚計測，距離・変位計測，速度計測，粒径計測, 光干渉断層法, 半導体微細加工, FDTDシミュレーション
会議録・要旨集 フリー

詳細
PDFをダウンロード (465K)
メタデータをダウンロード RIS形式

(EndNote、Reference Manager、ProCite、RefWorksとの互換性あり)

BIB TEX形式

(BibDesk、LaTeXとの互換性あり)

テキスト
メタデータのダウンロード方法
発行機関連絡先
記事の1ページ目
著者関連情報
© 2016 公益社団法人 応用物理学会
前の記事 次の記事
お気に入り & アラート

閲覧履歴
このページを共有する
feedback
 Top