小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-A23-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1210

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価

*木村勲, 小林宏樹, 露木達郎, 神保武人, 鄒弘綱, 杉田浩志, 渡邉憲志

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キーワード: 13a-A23-3, 薄膜・表面, 強誘電体薄膜, 強誘電・圧電デバイス, MEMS, 圧電膜, スパッタリング

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