応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13a-A23-3
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小型スパッタリング装置を用いたPZT圧電膜の作製と評価
*木村 勲小林 宏樹露木 達郎神保 武人鄒 弘綱杉田 浩志渡邉 憲志
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