Study of TMB/CH<sub>4</sub>/O<sub>2</sub>/H<sub>2</sub> plasmas for diamond doped multilayers

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

The 77th JSAP Autumn Meeting 2016

セッションID: 14p-A26-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1267

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Study of TMB/CH₄/O₂/H₂ plasmas for diamond doped multilayers

*Alexandre FIORI, Tokuyuki TERAJI

著者情報

キーワード: 14p-A26-3, diamond, boron doping, plasma

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2016 The Japan Society of Applied Physics

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top