フッ素化DLC薄膜表面への軟X線照射による膜特性変化

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-A26-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1287

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

フッ素化DLC薄膜表面への軟X線照射による膜特性変化

*高松大樹, 三浦永理, 神田一浩

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キーワード: 15a-A26-7, 薄膜・表面, カーボン系薄膜, 非晶質カーボン薄膜, フッ素化DLC, ナノインデンター, 軟X線

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