高耐熱抵抗器用電極金属多層膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-P7-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1429

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

高耐熱抵抗器用電極金属多層膜の作製

*中島智彦, 伊藤武, 河野桂子, 浦野幸一, 田中清志, 北中佑樹, 中村吉伸, 宮山勝, 土屋哲男

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キーワード: 13p-P7-7, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 金属薄膜など, パワーエレクトロニクス, 金属多層膜, 電極

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