RFスパッタ法によるc軸配向多結晶ZnO薄膜のTFT応用

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-P7-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1431

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

RFスパッタ法によるc軸配向多結晶ZnO薄膜のTFT応用

*高橋崇典, 宝賀剛, 内山潔

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キーワード: 13p-P7-9, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, ZnO, 酸化物半導体

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