応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13p-P7-11
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アークプラズマ蒸着法による酸化物成膜パラメータの基礎解析
*竹内 健太渡邉 幸輝種村 眞幸
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