パルスレーザー堆積法による逆ペロブスカイト型マンガン窒化物薄膜の作製

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-A37-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1454

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

パルスレーザー堆積法による逆ペロブスカイト型マンガン窒化物薄膜の作製

*宮本稜, 金澤航己, 松本利希, 畑野敬史, 飯田和昌, 生田博志

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キーワード: 14p-A37-5, 薄膜・表面, 薄膜新材料, 新材料・新技術・評価手法など, マンガン窒化物, 薄膜, パルスレーザー堆積法

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