波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13p-C31-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1536

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

波長 4.0 nm 斜入射ミラー用 Cr/Sc/Mo 多層膜の開発

*羽多野忠, 江島丈雄

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キーワード: 13p-C31-2, ビーム応用, X線技術, X線光学素子, 多層膜, 反射率, 軟Ｘ線

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