Quasi-Besselビームと環状ピクセルディテクタを用いたSTEM位相再生法の開発

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15p-B5-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_1555

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Quasi-Besselビームと環状ピクセルディテクタを用いたSTEM位相再生法の開発

*川崎忠寛, 石田高史, 児玉哲司, 松谷貴臣, 丹司敬義, 生田孝

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キーワード: 15p-B5-7, ビーム応用, 電子ビーム応用, 電子顕微鏡装置・手法の開発, STEM, 位相像, ベッセルビーム

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