応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 13a-A25-4
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

Ｘ線回折格子干渉法による100ナノメートル以下の表面微小構造解析に向けて
*矢代 航, 加藤 宏祐, 池田 進, 和田 恭雄, 鈴木 芳生, 竹内 晃久
著者情報
キーワード: 13a-A25-4, ビーム応用, 量子ビーム界面構造計測, X線・中性子反射率法および関連技術の高度化, X線イメージング, 回折格子, 小角Ｘ線散乱
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