第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 14p-D61-19
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会秋季学術講演会
回次: 77
開催地: 朱鷺メッセ
開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16
3次元実装構造を有するSTJのための超伝導TSV作製方法
キーワード:
14p-D61-19,
超伝導,
アナログ応用および関連技術,
ミクサ・発信器・検出器（ヘテロダイン検出器，発信器，ボロメーター，STJ検出器，転移端センサー，ナノワイヤ単一光子検出器など）,
超伝導トンネル接合,
貫通電極,
3次元実装構造
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