応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第77回応用物理学会秋季学術講演会
セッションID: 15p-B10-15
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

マルチウェル構造TSVを用いたTSV側壁Si-SiO2界面準位の評価
*菅原 陽平, 木野 久志, 福島 誉史, 李 康旭, 小柳 光正, 田中 徹
著者情報
キーワード: 15p-B10-15, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, ３D積層/TSV/再配線, シリコン貫通電極, 界面準位
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