TLZ法によるSiGe結晶育成中のメルト内対流効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 14p-A25-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3047

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

TLZ法によるSiGe結晶育成中のメルト内対流効果

*木下恭一, 荒井康智, 稲富裕光, 塚田隆夫

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キーワード: 14p-A25-10, 結晶工学, バルク結晶成長, バルク結晶, SiGe, 結晶成長, 対流

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