超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハの酸素析出挙動

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 15a-A23-9

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_3314

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

超高温RTPによる窒素ドープCz-Siウェーハの酸素析出挙動

*前田進, 須藤治生, 荒木浩司, 斉藤広幸

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キーワード: 15a-A23-9, 結晶工学, 結晶評価，不純物・結晶欠陥, 点欠陥, 急速昇降温熱処理, 酸素析出, 格子間シリコン

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