近紫外フェムト秒レーザによる溶融石英穿孔構造の内表面粗さ評価

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第77回応用物理学会秋季学術講演会

セッションID: 13a-C31-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2016.2.0_686

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会秋季学術講演会

回次: 77

開催地: 朱鷺メッセ

開催日: 2016/09/13 - 2016/09/16

近紫外フェムト秒レーザによる溶融石英穿孔構造の内表面粗さ評価

*白石正彦, 合谷賢治, 窪寺昌一, 渡辺一弘

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キーワード: 13a-C31-3, 光・フォトニクス, レーザープロセシング, 表面改質, フェムト秒レーザ加工, 表面改質, 溶融石英

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