機械的共振を用いた MEMS 波長可変 VCSEL の広帯域掃引・低駆動電圧動作

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15p-422-5

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1144

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

機械的共振を用いた MEMS 波長可変 VCSEL の広帯域掃引・低駆動電圧動作

*中濱正統, 井上俊也, 松谷晃宏, 坂口孝浩, 小山二三夫

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キーワード: 15p-422-5, 光・フォトニクス, 半導体光デバイス, 半導体レーザー，発光ダイオード, 面発光レーザ, MEMS VCSEL

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