フレキシブル基板上に形成した薄膜のＸ線反射率測定のための簡便かつ再現性の高い試料固定法

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-512-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_152

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

フレキシブル基板上に形成した薄膜のＸ線反射率測定のための簡便かつ再現性の高い試料固定法

徳永幸大, 上林浩行, 田尻恭之, 佐藤誠, *香野淳

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キーワード: 16p-512-3, シンポジウム, 薄膜・多層膜の界面イメージング, 薄膜, フレキシブル基板, Ｘ線反射率

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