1MHzの固有振動数を有するマイクロ片持ち梁の熱振動制振

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-414-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1578

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

1MHzの固有振動数を有するマイクロ片持ち梁の熱振動制振

*鐘ヶ江力, 辻家祐介, 今井秀和, 河村良行

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キーワード: 14p-414-10, 薄膜・表面, プローブ顕微鏡, 走査型プローブ顕微鏡, マイクロ片持ち梁, 熱振動, フィードバック制御

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