インプリントアライメントに向けた蛍光モアレの観察

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15a-423-1

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1661

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

インプリントアライメントに向けた蛍光モアレの観察

*菊地英里, 石戸洋太, 松原信也, 中村貴宏, 阿部誠之, 中川勝

著者情報

キーワード: 15a-423-1, ビーム応用, 微細パターン・微細構造形成技術, 光ナノインプリント, ナノインプリント, アライメント, 蛍光

会議録・要旨集フリー

詳細

記事の1ページ目

著者関連情報

© 2017 公益社団法人応用物理学会

お気に入り & アラート

関連記事

閲覧履歴

Top