液体クラスターイオンビームの遷移金属薄膜への照射効果

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15p-P11-2

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1670

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

液体クラスターイオンビームの遷移金属薄膜への照射効果

*清水友規, 清水大貴, 竹内光明, 龍頭啓充

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キーワード: 15p-P11-2, ビーム応用, イオンビーム一般, イオン・固体相互作用, クラスターイオンビーム

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