応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 16p-414-6
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非鉛強誘電体薄膜を用いたMEMS振動発電
*吉村 武村上 修一藤村 紀文
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