非鉛強誘電体薄膜を用いたMEMS振動発電

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-414-6

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_174

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

非鉛強誘電体薄膜を用いたMEMS振動発電

*吉村武, 村上修一, 藤村紀文

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キーワード: 16p-414-6, シンポジウム, エナジーハーベスティングの最新動向：IoT時代の実現に向けて, 圧電, 強誘電体, 振動発電

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