DCシンクロパルスプラズマを用いた最先端絶縁膜エッチングプロセスにおけるフルオロカーボンラジカルの挙動

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 17a-313-3

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1755

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

DCシンクロパルスプラズマを用いた最先端絶縁膜エッチングプロセスにおけるフルオロカーボンラジカルの挙動

*植山稔正, 竹田圭吾, 近藤博基, 石川健治, 関根誠, 堀勝, 岩田学, 大矢欣伸

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キーワード: 17a-313-3, プラズマエレクトロニクス, プラズマエッチング, 絶縁膜のエッチング, エッチング, パルスプラズマ, プラズマ計測

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