高指向性坩堝を用いた斜め堆積反応性蒸着のシミュレーション

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-P9-4

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_1766

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

高指向性坩堝を用いた斜め堆積反応性蒸着のシミュレーション

*泉澤宏樹, 仲尾昌浩, 井上泰志, 高井治

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キーワード: 14p-P9-4, プラズマエレクトロニクス, プラズマナノテクノロジー, 構造制御・新構造, 構造制御

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