Controlling Mg and Ti content in MgTi-doped-AlN for enhancement of the piezoelectric response

The 64th JSAP Spring Meeting 2017

セッションID: 15p-P4-5

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Controlling Mg and Ti content in MgTi-doped-AlN for enhancement of the piezoelectric response

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キーワード: 15p-P4-5, piezoelectric, AlN, sputtering

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