Single-nanometer patterning of graphene by HIM for advanced applications

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

The 64th JSAP Spring Meeting 2017

セッションID: 16p-315-7

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_270

会議情報

主催: The Japan Society of Applied Physics

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Single-nanometer patterning of graphene by HIM for advanced applications

*水田博, シュミットマレク, 神崎晃悠, 小川真一, ムルガナタンマノハラン

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キーワード: 16p-315-7, graphene, helium ion beam, single-nanometer patterning

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© 2017 The Japan Society of Applied Physics

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