分子動力学・有限要素法を用いた半導体デバイスの微細パターン座屈解析

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 16p-E206-12

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_2854

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

分子動力学・有限要素法を用いた半導体デバイスの微細パターン座屈解析

*輿石健二, 齋藤玲子, 伊藤祥代, 田村陽平, 今泉俊介, 高本聡, 泉聡志

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キーワード: 16p-E206-12, 半導体, Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション, プロセスシミュレーション, 分子動力学法, 有限要素法

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