第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14a-304-5
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 64
開催地: パシフィコ横浜
開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17
自己整合四端子平面型メタルダブルゲート低温poly-Si TFTのVth制御を利用したガラス上のCMOSインバータ
キーワード:
14a-304-5,
半導体,
Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術,
TFT/Si/Ge etc./薄膜結晶化/レーザーアニール,
薄膜トランジスタ,
多結晶シリコン,
CMOSインバータ
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