第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 14p-P3-3
会議情報
主催: 公益社団法人 応用物理学会
会議名: 応用物理学会春季学術講演会
回次: 64
開催地: パシフィコ横浜
開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17
LSIカーボンナノ配線への浮遊触媒法を用いた超臨界流体技術
キーワード:
14p-P3-3,
半導体,
Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術,
配線,電極プロセスと材料/導電膜/バリア膜/シード層,
超臨界流体,
カーボンナノ材料,
LSI配線
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