応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 16p-502-8
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

パワーデバイスに向けたGa2O3ウエハプロセス技術
*倉又 朗人, 輿 公祥, 佐々木 公平, 後藤 健, 渡辺 信也, 山岡 優, 脇本 大樹, ティユ クァン トゥ, 増井 建和, 山腰 茂伸, 村上 尚, 熊谷 義直, 東脇 正高
著者情報
キーワード: 16p-502-8, シンポジウム, 先進パワーデバイスのプロセス技術, 酸化ガリウム, パワーデバイス, ワイドバンドギャップ半導体
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© 2017 公益社団法人 応用物理学会
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