応用物理学会学術講演会講演予稿集
Online ISSN : 2436-7613
第64回応用物理学会春季学術講演会
セッションID: 17a-E206-11
会議情報

主催: 公益社団法人 応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

ガラス上における大粒径Ge薄膜の固相成長と高移動度実証
*吉峯 遼太, 都甲 薫, 末益 崇
著者情報
キーワード: 17a-E206-11, 半導体, Si系プロセス・Si系薄膜・配線・MEMS・集積化技術, TFT/Si/Ge etc./薄膜結晶化/レーザーアニール, ゲルマニウム, 固相成長
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