β-FeSi<sub>2</sub>薄膜のPL発光特性に及ぼす成長温度の影響

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 14p-411-11

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3192

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

β-FeSi₂薄膜のPL発光特性に及ぼす成長温度の影響

*秋山賢輔, 松本佳久, 舟窪浩

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キーワード: 14p-411-11, 半導体, 光物性・発光デバイス, シリコン系, 鉄シリサイド半導体, フォトルミネッセンス

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