Ｓｉ基板上における非磁性Y-W-O薄膜のＭＢＥ成長

応用物理学会学術講演会講演予稿集

Online ISSN : 2436-7613

第64回応用物理学会春季学術講演会

セッションID: 15p-411-10

DOI https://doi.org/10.11470/jsapmeeting.2017.1.0_3215

会議情報

主催: 公益社団法人応用物理学会

会議名: 応用物理学会春季学術講演会

回次: 64

開催地: パシフィコ横浜

開催日: 2017/03/14 - 2017/03/17

Ｓｉ基板上における非磁性Y-W-O薄膜のＭＢＥ成長

*尾身博雄, 俵毅彦, 山本秀樹

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キーワード: 15p-411-10, 半導体, 光物性・発光デバイス, 希土類添加, イットリウム, タングステン, 分子線エピタキシャル成長

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